11月15日-19日,第二十五屆中國(guó)國(guó)際高新技術(shù)成果交易會(huì)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“高交會(huì)”)在深圳隆重舉辦。中科科儀作為國(guó)科控股與國(guó)科科儀高端裝備制造版圖中的重要組成部分,攜眾多前沿技術(shù)及硬核產(chǎn)品亮相國(guó)科控股高端裝備板塊。

16日上午,中科科儀總經(jīng)理助理兼科儀光電總經(jīng)理孟祥良在高交會(huì)(福田展區(qū))新產(chǎn)品新技術(shù)精品發(fā)布活動(dòng)中進(jìn)行了《場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡》的精彩報(bào)告,帶來(lái)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)高端場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100并進(jìn)行詳細(xì)介紹。

【發(fā)布現(xiàn)場(chǎng)】

掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器,具有景深大、分辨率高、成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn),是中國(guó)科技發(fā)展中不可或缺的高端科學(xué)儀器。中科科儀具有50多年的電鏡研制歷史,具備深厚的電子光學(xué)技術(shù)基礎(chǔ),是國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)掃描電子顯微鏡產(chǎn)業(yè)化的企業(yè),在產(chǎn)品的研發(fā)和制造方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。

針對(duì)基礎(chǔ)科學(xué)研究和高精尖工業(yè)制造對(duì)國(guó)產(chǎn)場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡的迫切需求,2013年,北京中科科儀股份有限公司牽頭,聯(lián)合北京大學(xué)、中科院微電子所、中科院生物物理所、國(guó)家環(huán)境分析測(cè)試中心、清華大學(xué)等單位,承擔(dān)國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”,在2014年成功推出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8000,并在此基礎(chǔ)上提升電子光學(xué)系統(tǒng)綜合性能,于2017年推出了國(guó)產(chǎn)高端場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100,分辨率優(yōu)于0.9nm@30kV,3nm@1kV,解決了高分辨率電子光學(xué)成像系統(tǒng)、系統(tǒng)集成調(diào)試等關(guān)鍵技術(shù),成為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)、達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品技術(shù)水平、具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡。

KYKY-EM8100型掃描電子顯微鏡是中科科儀承擔(dān)科技部國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”研制成果的一部分,具有自主設(shè)計(jì)制造了低像差物鏡、突破了電子束鏡筒加速技術(shù)、自主研制了電子光學(xué)智能化控制系統(tǒng)等三大技術(shù)優(yōu)勢(shì)。目前該設(shè)備已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地,并形成批量銷(xiāo)售,深受各行業(yè)用戶(hù)好評(píng),為我國(guó)納米科技、材料分析、分子生物學(xué)研究與半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域提供技術(shù)支撐,取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡是納米技術(shù)、生物技術(shù)、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)研究的重要工具,在半導(dǎo)體集成電路加工、微機(jī)電系統(tǒng)、微型傳感器等信息技術(shù)支撐領(lǐng)域和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用,廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、礦物、冶金、高分子、復(fù)合材料、微生物、新能源材料的表面形貌進(jìn)行觀察及微區(qū)的點(diǎn)、線、面成分分析;同時(shí),場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡在蟲(chóng)害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等方面也有廣泛的應(yīng)用,在我國(guó)的基礎(chǔ)科學(xué)研究、生產(chǎn)工藝控制、各分類(lèi)學(xué)科研究的過(guò)程中發(fā)揮著不可或缺的重要作用。

場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡的研制成功,是我國(guó)電子光學(xué)研究水平的集中體現(xiàn),是我國(guó)電子光學(xué)領(lǐng)域的重要成果,對(duì)摸索我國(guó)高端大型科學(xué)儀器的發(fā)展模式具有重要意義。當(dāng)前,緊隨科研需求和市場(chǎng)熱點(diǎn),中科科儀積極推進(jìn)電子束等光學(xué)儀器設(shè)備的研究制造,加速高端儀器設(shè)備國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程,滿(mǎn)足更多的科研及產(chǎn)業(yè)客戶(hù)的特殊需求,助力中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

未來(lái),中科科儀將加快推進(jìn)電子光學(xué)高端科學(xué)儀器裝備的研制進(jìn)程,提升國(guó)產(chǎn)化替代水平,不斷解決高端儀器裝備的問(wèn)題,高質(zhì)量引領(lǐng)重大科學(xué)儀器攻關(guān)及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,為強(qiáng)化國(guó)家戰(zhàn)略科技力量、實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)做出新的貢獻(xiàn)。

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