本次出機的電子束缺陷檢測設備型號為SEpA-i515，面向300mm硅片工藝制程，除具備該系列產(chǎn)品慣有的高靈敏度電性和物理缺陷檢測、有效解決28nm及以上良率問題、自主創(chuàng)新的高性能缺陷檢測引擎（DNA數(shù)據(jù)庫）、基于深度學習的缺陷自動分類（ADC）算法等產(chǎn)品特點外，東方晶源研發(fā)團隊還在上一代產(chǎn)品的基礎上優(yōu)化升級，使SEpA-i515具有更高的TPT和更優(yōu)的平臺設計，設備運行效率、性能指標均有大幅提升。值得一提的是，上一代產(chǎn)品SEpA-i505 已經(jīng)在國內(nèi)頭部晶圓代工廠量產(chǎn)一年，產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性得到充分驗證。
另一臺交付的產(chǎn)品為關鍵尺寸量測設備，型號為SEpA-c410，面向300mm硅片工藝制程，通過先進的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準的量測算法，可實現(xiàn)高重復精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關鍵尺寸量測。該設備自去年6月底進入國內(nèi)頭部晶圓代工廠以來產(chǎn)線驗證進展順利，階段性驗收成果獲得客戶認可。
東方晶源電子束量測檢測設備，依托所承擔的國家科技重大專項（02專項）——電子束硅片圖形缺陷檢測設備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目，經(jīng)過數(shù)年攻堅克難，突破多項核心關鍵技術，從零部件到整機設計制造，均具有完全自主知識產(chǎn)權，填補國內(nèi)空白。目前，兩款設備開啟批量交付模式，產(chǎn)業(yè)化進程取得豐碩成果。
此次設備交付的客戶所在地上海在我國集成電路產(chǎn)業(yè)具有舉足輕重的地位，目前已經(jīng)成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)綜合水平高、產(chǎn)業(yè)鏈完整、產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境好的集聚地之一。東方晶源十分看重在上海的發(fā)展和布局，繼計算光刻軟件（OPC）進入上海頭部晶圓代工企業(yè)后，硬件產(chǎn)品正式登陸上海。為更好的服務以上海為核心的長三角客戶，東方晶源已于去年8月份在上海設立子公司，形成北京總部、深圳子公司和上海子公司為核心的三地布局，推動企業(yè)貼近產(chǎn)業(yè)前沿高地，為集成電路制造企業(yè)帶去優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務，更好的與上下游企業(yè)攜手推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展的同時，構筑企業(yè)自身競爭壁壘。
東方晶源自成立以來，專注于芯片制造關鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領域，形成以計算光刻軟件（OPC）、電子束量測檢測裝備硬件為核心的產(chǎn)品矩陣，并向更多相關領域積極布局。硬件方面，東方晶源已著手電子束缺陷復檢設備DR-SEM（Defect Review SEM）的研發(fā)工作，進一步夯實在國內(nèi)電子束檢測領域領先的市場地位和核心技術優(yōu)勢。軟件方面，光刻工藝嚴格仿真軟件PanSim已經(jīng)在客戶側(cè)進行驗證，預計7月底release V1.0版本。未來，東方晶源將立足通用軟件平臺和檢測裝備兩大領域，尋求橫縱向發(fā)展機遇，為客戶提供更加多樣化的產(chǎn)品，向著國內(nèi)集成電路領域良率管理領導者的目標奮進。
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